對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需材料的高品質(zhì)金剛石的期望,讓鯤鵬精密智能科技來(lái)個(gè)大家說(shuō)說(shuō)看吧
一、半導(dǎo)體材料的特性
半導(dǎo)體材料的特征參數(shù)是帶隙、電阻率、載流子遷移率、非平衡載流子壽命和位錯(cuò)密度。
電阻率、載流子遷移率:反映材料的電導(dǎo)率;
非平衡載流子壽命:對(duì)外反映半導(dǎo)體材料的作用
內(nèi)部載流子從非平衡態(tài)躍遷到平衡態(tài)的弛豫特性;
位錯(cuò)密度:用來(lái)衡量半導(dǎo)體單晶材料的晶格完整性程度。
半導(dǎo)體材料的特性參數(shù)不僅可以反映半導(dǎo)體材料與其他非半導(dǎo)體材料的差異,更重要的是可以反映各種半導(dǎo)體材料甚至同一種材料在不同情況下的特性差異。
二、金剛石半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電機(jī)理
半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電機(jī)制是通過(guò)電子和空穴兩種載流子實(shí)現(xiàn)的,分為N型和P型。金剛石作為IV族元素,在其晶體結(jié)構(gòu)中可以看出有兩個(gè)面心立方結(jié)構(gòu),它們是沿體對(duì)角線平移1/4晶格常數(shù)而形成的。碳原子以sp3雜化軌道與相鄰的4個(gè)碳原子共價(jià)鍵合,形成規(guī)則的四面體結(jié)構(gòu)。通過(guò)在金剛石中摻雜適當(dāng)?shù)脑兀梢愿淖兤潆娦阅?,使其廣泛用作半導(dǎo)體材料。在電氣設(shè)備中。
型摻雜
摻硼半導(dǎo)體金剛石單晶是制備高溫大功率半導(dǎo)體元件的優(yōu)先選擇材料,在電子、核能、航空航天等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。目前,應(yīng)進(jìn)一步研究金剛石的硼摻雜,通過(guò)選擇合適的硼源和調(diào)整硼的摻雜濃度來(lái)提高摻硼金剛石的載流子遷移率,并將其應(yīng)用于二極管、場(chǎng)效應(yīng)晶體管和制備過(guò)程中。檢測(cè)器等,提高了設(shè)備??的工作性能。
型摻雜
實(shí)現(xiàn)基于pn結(jié)的同質(zhì)外延金剛石電子應(yīng)用非常重要,是雙極器件發(fā)展的關(guān)鍵??茖W(xué)家們嘗試在金剛石中摻雜氮、硫、鋰和磷等元素,以實(shí)現(xiàn)其 n 型導(dǎo)電性。由于金剛石中氮的較深雜質(zhì)能級(jí)(距導(dǎo)帶底部1.7-2 eV的深能級(jí)),含氮金剛石在室溫下是良好的絕緣體,金剛石的n型導(dǎo)電性無(wú)法實(shí)現(xiàn)。硫原子的半徑遠(yuǎn)大于碳原子的半徑,金剛石的摻入會(huì)引起大量的晶格畸變,導(dǎo)致大量的晶格缺陷,使大部分硫失去活性。
三、金剛石半導(dǎo)體的應(yīng)用
具有高載流子遷移率、高熱導(dǎo)率、高擊穿電場(chǎng)、高載流子飽和率和低介電常數(shù)等一系列優(yōu)異的物理化學(xué)性能,尤其在電子技術(shù)領(lǐng)域受到廣泛關(guān)注和認(rèn)可作為非常有前途的新型半導(dǎo)體材料?;谶@些優(yōu)勢(shì),超寬帶隙半導(dǎo)體材料的使用可以使新一代電子器件變得更小、更快、更可靠、更有效。這有助于降低電子元件的質(zhì)量、尺寸和生命周期成本,同時(shí)允許設(shè)備在更高的溫度、電壓和頻率下運(yùn)行,并使電子設(shè)備能夠以更少的能源實(shí)現(xiàn)更高的性能。
金剛石用于半導(dǎo)體行業(yè),首要條件是要有一定的規(guī)格和質(zhì)量要求。地球上天然金剛石的儲(chǔ)量非常稀缺,而能夠滿足尺寸和質(zhì)量要求的天然金剛石比例,如何大幅度降低大尺寸金剛石單晶材料的成本是解決金剛石單晶問(wèn)題的根本。半導(dǎo)體行業(yè)的巨大需求。
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