半導(dǎo)體清洗材料部分含有揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs）。

　　許多傳統(tǒng)的半導(dǎo)體清洗溶劑，如一些有機(jī)溶劑，是含有 VOCs 的。例如，丙酮、乙醇等有機(jī)溶劑在清洗過程中會(huì)揮發(fā)。這些有機(jī)溶劑能夠有效地去除半導(dǎo)體表面的有機(jī)污染物，如油脂、光刻膠殘留等。它們通過溶解污染物的方式來達(dá)到清洗目的，在這個(gè)過程中，有機(jī)溶劑分子會(huì)從液態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)，進(jìn)入周圍的空氣中，從而產(chǎn)生 VOCs 排放。

　　然而，隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展和環(huán)保要求的日益嚴(yán)格，行業(yè)越來越傾向于使用低 VOCs 或者無 VOCs 的清洗材料。例如，一些水性清洗液正在被廣泛應(yīng)用。水性清洗液主要成分是水，添加了一些表面活性劑和其他助劑，它們可以在較低的溫度下對(duì)半導(dǎo)體表面進(jìn)行清洗，而且揮發(fā)性較低，大大減少了 VOCs 的產(chǎn)生。

　　半導(dǎo)體清洗材料中 VOCs 的存在與否及含量多少具有重要影響。從環(huán)境角度來看，VOCs 是形成光化學(xué)煙霧和細(xì)顆粒物（PM2.5）的前體物質(zhì)之一。高濃度的 VOCs 排放會(huì)對(duì)空氣質(zhì)量造成嚴(yán)重污染，并且在半導(dǎo)體制造工廠集中的區(qū)域，這種污染可能會(huì)對(duì)周邊生態(tài)環(huán)境和居民健康產(chǎn)生負(fù)面影響。從生產(chǎn)工藝角度講，含有高濃度 VOCs 的清洗材料可能會(huì)對(duì)生產(chǎn)設(shè)備造成損害。例如，VOCs 的揮發(fā)可能會(huì)在設(shè)備表面形成沉積物，影響設(shè)備的精度和性能，同時(shí)也存在一定的安 全隱患，如有機(jī)溶劑蒸汽可能會(huì)引發(fā)火災(zāi)或爆炸等危險(xiǎn)情況。

　　為了降低半導(dǎo)體清洗材料中的 VOCs，制造商一方面在研發(fā)新型的清洗配方，如開發(fā)綠色環(huán)保的清洗溶劑和清洗工藝；另一方面，也在對(duì)清洗設(shè)備進(jìn)行改進(jìn)，例如安裝有效的廢氣收集和處理系統(tǒng)，在 VOCs 排放到大氣之前將其捕獲和處理，以減少對(duì)環(huán)境的危害。