電 話：18575511218
傳 真：
郵 箱：info@roc-ele.com
地 址：深圳市光明區(qū)馬田街道田園路龍邦科興科學園C棟815
特色 |
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尺寸
寬深高
1,481 x 1,407 x 2,080 mm3
靈活性：檢查各種基板的能力
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系統(tǒng)能力 | |
機器規(guī)格 | |
UPH 單鍵臂（標準） 雙鍵臂（可選） | 20,000 # 24,000 # |
XY位置 Die rotation Die size >= 1mm Die size < 1 mm | ± 25 μm @ 3σ |
物料處理能力 | |
模具尺寸 | 6 x 6 – 200 x 200 mil2 (0.15 x 0.15 – 5.08 x 5.08 mm 2 ) |
基板尺寸 長 寬度 特殊設計 標準 選項 厚 | 4.33” – 11.81” (110 – 300 mm) 1.18” – 1.97” (30 – 50 mm) 1.97” – 3.35” (50 – 85 mm) 1.97” – 3.94” (50 – 100 mm) 4.72 – 59.06 mil (0.12 – 1.5 mm) |
尺寸 長 寬度 身高 | 5.12” – 12.20” (130 – 310 mm) 1.38” – 4.72” (35 – 120 mm) 2.68” – 7.48” (68 – 190 mm) |
晶圓系統(tǒng) | |
晶圓尺寸 | 5” (127 mm), 6” (150 mm), 8” (200 mm) |
| 工作人員制度 | |
| 加熱器塊（選件） | 溫度200°C |
| 軌道寬度（可編程） | 30 – 101.6 mm |
