半導(dǎo)體行業(yè)所需材料:芯片制造過程關(guān)鍵作用,讓鯤鵬精密智能科技來給大家說說看吧!
1.作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要上游環(huán)節(jié),半導(dǎo)體材料在芯片制造過程中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。半導(dǎo)體材料主要分為基體材料、制造材料和封裝材料。其中,基材主要用于制造硅片或化合物半導(dǎo)體;制造材料主要為將硅片或化合物半導(dǎo)體加工成芯片所需的各種材料;包裝材料是包裝和切割芯片時(shí)使用的材料。
根據(jù)芯片材料的不同,襯底材料主要分為硅片和化合物半導(dǎo)體。其中,硅片是集成電路制造過程中應(yīng)用非常廣泛、非常重要的原材料。
2. 化合物半導(dǎo)體
主要指砷化鎵(GaAs)、氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)二、三代半導(dǎo)體。砷化鎵(GaAs)具有功率密度高、能耗低、耐高溫、發(fā)光效率高、耐輻射、擊穿電壓高等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于射頻、功率器件、微電子、光電子及國防軍工等行業(yè)。氮化鎵(GaN),可以承載更高的能量密度和更高的可靠性。廣泛應(yīng)用于手機(jī)、衛(wèi)星、航空航天、光電、微電子、高溫大功率設(shè)備、高頻微波設(shè)備等非通信領(lǐng)域;碳化硅(SiC)具有高禁帶寬度、高飽和電子漂移速度、高熱導(dǎo)率等優(yōu)點(diǎn)。主要用作汽車和工業(yè)電力電子領(lǐng)域的大功率半導(dǎo)體材料,廣泛應(yīng)用于大功率轉(zhuǎn)換領(lǐng)域。
3.制造材料
1、光刻膠
光刻膠是光刻工藝的核心材料,其溶解度的變化主要通過紫外線、準(zhǔn)分子激光、電子束、離子束、X抗蝕材料,如光源的照射或輻射。光刻膠可分為半導(dǎo)體光刻膠、LCD光刻膠和PCB光刻膠。光刻膠的主要成分包括光刻膠樹脂、敏化劑、溶劑和添加劑。
在光刻工藝中,將光刻膠施加到基板上。當(dāng)光或輻射通過掩模照射到基板上時(shí),光刻膠在顯影溶液中的溶解度會(huì)發(fā)生變化。在溶液溶解可溶部分后,光刻膠層形成與掩模版完全相同的圖案,然后在基板上完成圖案轉(zhuǎn)移。根據(jù)下游應(yīng)用,基板可以是印刷電路板、面板和集成電路板。光刻工藝的成本占整個(gè)芯片制程的35%左右,時(shí)間消耗占整個(gè)芯片制程的40%~60%。它是半導(dǎo)體制造的核心工藝。
2、濺射靶材
靶材是制備電子薄膜材料的濺射工藝中不可缺少的原材料。濺射工藝主要是利用離子源產(chǎn)生的離子在真空中加速高速離子束的聚集,轟擊固體表面,使固體表面的原子離開固體沉積在基板表面.被轟擊的固體被稱為濺射靶材。
3、拋光材料
化學(xué)機(jī)械拋光 是一種可以考慮表面整體和局部平整度的技術(shù)。其工作原理是在一定壓力和拋光液存在下,使拋光片和拋光墊相對運(yùn)動(dòng),將納米磨料的機(jī)械研磨作用和各種化學(xué)試劑的化學(xué)作用有機(jī)結(jié)合,使表面拋光后的晶片達(dá)到高平整度。 低表面粗糙度和低缺陷要求。
拋光液為水溶性拋光劑,不含任何硫、磷、氯添加劑,主要用于拋光、潤滑和冷卻。拋光墊的主要作用是儲(chǔ)存和傳輸拋光液,為硅片提供一定的壓力,并對其表面進(jìn)行機(jī)械摩擦,是決定表面質(zhì)量的重要輔助材料。
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